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以“中国方案”点亮半导体设备零部件国产化之路!

2025-08-14 08:37:00

坐落于西青经开区的天津市锐欧泰科技有限公司(以下简称“锐欧泰”)是一家将推动国产半导体设备零部件自主化作为核心使命的科技企业。从关键零部件替代到高端设备翻新技术,锐欧泰用实实在在的“中国方案”,显著提升了该领域的国产化水平与供应链保障能力。

据了解,该公司创始人曾长期任职于国内半导体制造龙头企业,亲身经历了供应链不稳定对企业运营的影响。为响应国家战略需求,同时更好把握行业转型机遇,锐欧泰应运而生。因此公司创立之初便从贸易业务起步,而后依托创始团队深厚的行业积淀、对产业链痛点与技术瓶颈的精准把握,以及持续加强人才队伍建设,敏锐洞察发展契机,坚定地向研发创新型企业转型,最终将发展目标聚焦于突破半导体设备关键零部件产业链中的关键技术。


锋芒初露,首战告捷


依托专业的研发团队和扎实的技术积累,锐欧泰自主研发了用于保障精密设备内部信号稳定传输的FTY型线束,以及为关键制程环节提供稳定高压电能的OA高压电源,成功实现两项关键技术自主可控,并应用于国内大型晶圆代工企业的ASML光刻机。这不仅是一次技术突破,更是锐欧泰团队以自主创新助力国家集成电路产业链安全稳定的重要实践。


多点开花,替代深化


锐欧泰聚焦晶圆制造中用于表面均匀涂覆光刻胶的核心设备——匀胶机,成功研发出其关键耗材国产胶盘。该产品已在比亚迪半导体、华虹半导体等头部晶圆厂广泛应用,实现了这一关键耗材的国产化替代。


再攀高峰,打破依赖


2024年10月,锐欧泰实现关键性突破,攻克安捷伦干涉仪翻新技术。该技术长期依赖特定国家供应,是ASML、尼康光刻机、日立线宽扫描仪、应用材料缺陷检测仪及超高精密机床定位系统的核心。锐欧泰产品经国内集成电路龙头企业、比亚迪半导体等厂商严格上机验证,性能获得高度认可,月出货量稳步提升,有效填补了国内在该技术领域的空白,增强了自主保障能力。

锐欧泰的快速发展,离不开其扎根的沃土——西青开发区及集成电路创新中心的大力支持。“国际产业环境的变化既是挑战,也蕴含机遇”,公司负责人表示:“在西青开发区和集成电路创新中心精准的政策扶持与高效资源对接下,我们得以聚焦核心技术攻关,有信心在高端半导体设备零部件领域,逐步提升自己的核心竞争力。”

西青开发区集成电路创新中心自2023年7月成立以来,其赋能产业发展的成效日益显现。截至目前,中心已累计吸引20余家优质集成电路创新型企业集聚,形成了以半导体设备关键部件研发与光电芯片为特色的产业集群。这一蓬勃发展的产业生态,为包括锐欧泰科技在内的入驻企业打造了创新策源与产业孵化高地,也为西青区培育集成电路新质生产力、全力打造“芯西青”注入了强劲动能。